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超精密加工中的误差分离

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超精密加工中的误差分离

发布日期:2016-07-09 22:11 来源:http://www.zzhlmc.com 点击:

     在超精密加工零件中,工件轮廓直线度误差与溜板的直线运动误差处于同一数量级(通常为亚微米量级)。电容、电感传感器有很高的分辨率和测量精度,很适合于高精度测量。但这类传感器测量的量程有限,所以用扫描法将位移测头安装在溜板上,沿工件的被测轮廓作直线运动,或者将传感器固定,工件随溜板一起运动,要想得到精确的工件轮廓直线度或溜板直线运动误差,便需要采用误差分离的办法。

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